| THÔNG TIN SẢN PHẨM (ENGLISH) | THÔNG TIN SẢN PHẨM (TIẾNG VIỆT) |
| The IR-200 monitors SiF4 gas concentration in real time and identifies the cleaning end-point based on SiF4 gas concentrations. | Thiết bị IR-200 theo dõi nồng độ khí SiF4 theo thời gian thực và xác định được điểm cuối của quá trình làm sạch nhờ vào giá trị nồng độ của khí SiF4 này. |
| Monitor SiF4 concentration up to 5000 ppm | Theo dõi nồng độ khí SiF4 lên đến 5000 ppm |
| Compact design | Thiết kế tinh gọn |
| Can be installed into exhaust lines | Có thể được tích hợp vào đường ống xả |
| In addition to SiF4, this gas monitor can be used to measure CIF3 and other gases. | Ngoài khí SiF4, thiết bị có thể theo dõi khí CIF3 và các khí khác |
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.