Thông số chính – English |
Thông số chính – Tiếng Việt |
The in-line IR-300 Series measures and reports the precursor concentration in real time in MOCVD process. The Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) process is widely used in the manufacture of LEDs, optical devices and other components. Liquid and solid precursors are delivered to the reaction chamber by controlling the temperature, pressure and the carrier gas flow rate (bubbling method). |
Thiết bị tích hợp trên dây chuyền sản xuất, IR-300, là thiết bị đo và chỉ báo nồng độ tức thời của hỗn hợp tiền chất trong quy trình phủ MOCVD. Quy trình lắng đọng pha hơi hóa chất hữu cơ- kim loại (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition- MOCVD) được áp dụng rất rộng rãi trong lĩnh vực sản xuất LED, linh kiện quang học và các linh kiện khác. Các tiền chất ở pha rắn và lỏng được dẫn vào buồng phản ứng với nhiệt độ, áp suất và lưu lượng khí mang (phương pháp sục khí) được kiểm soát chặt chẽ. |
Real-time monitoring |
Theo dõi tức thời theo thời gian thực |
Multi-calibration Curve Function (Optional) |
Chức năng thiết lập nhiều đường cong hiệu chuẩn (Đặt mua thêm) |
Multi-display Function |
Chức năng hiển thi nhiều thông số |
Communications Function |
Chức năng kết nối truyền dữ liệu theo các chuẩn phổ biến |
Simple, Compact Design |
Thiết kế gọn gàng, giản đơn. |
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.