Máy đo nồng độ khí Horiba STEC IR-400

LIÊN HỆ IMMOTECH Hãy để lại thông tin. Chuyên gia của chúng tôi sẽ tư vấn bạn trong thời gian sớm nhất

Mô tả

THÔNG TIN SẢN PHẨM (ENGLISH)THÔNG TIN SẢN PHẨM (TIẾNG VIỆT)
The IR-400 offers real-time monitoring of the chamber cleaning end point during the deposition process. By optimizing the cleaning process, the IR-400 reduces cleaning time and gas usage. This reduction in cleaning gas usage leads to a reduction in chamber damage and increases the life times of all the systems components.IR-400 giúp theo dõi điểm cuối, theo thời gian thực, của quá trình làm sạch buồng phản ứng khi lắng tụ.Qua đó có thể tối ưu quá trình làm sạch, dẫn đến rút ngắn thời gian và kéo giảm lượng tiêu thụ khí làm sạch, từ đó tăng cường tuổi tho của các linh phụ kiện và giảm nguy cơ hư hỏng buồng.
Benefits of real-time end-point monitoring with the IR-400Lợi ích của việc sử dụng IR-400 để theo dõi điểm cuối theo thời gian thực là:
Reduce time for chamber cleansRút ngắn thời gian làm sạch buồng
Reduce usage of cleaning gasesGiảm lượng khí làm sạch phải dùng
Repeatable and predictable clean processKhiến cho quá trình làm sạch trở nên dễ kiểm soát và có độ lặp lại
Longer lifetime of chamber componentsKéo dài tuổi thọ của các linh kiện buồng

 

Features:Tính năng:
Multi gas monitoring (Supported SiF4 andCF4) (IR-422)Cho phép theo dõi đa dạng khí (kể cả SiF4 và CF4)
High sensitivityĐộ nhạy cao
Gas cell heating function up to 180 dec.CCho phép gia nhiệt buồng khí lên tới 180oC
Multi – displayHiển thị đa thông số
Analog/Digital communicationKết nối truyền tải thông tin dạng kỹ thuật số hoặc analog

Thông số

Thông số chi tiết

Đánh giá

Chưa có đánh giá nào.

Hãy là người đầu tiên nhận xét “Máy đo nồng độ khí Horiba STEC IR-400”

Đặt mua Máy đo nồng độ khí Horiba STEC IR-400
Máy đo nồng độ khí Horiba STEC IR-400
Bạn vui lòng nhập đúng số điện thoạiemail liên hệ, để Immotech xác nhận thông tin. Xin cảm ơn!