| THÔNG TIN SẢN PHẨM (ENGLISH) |
THÔNG TIN SẢN PHẨM (TIẾNG VIỆT) |
| The IR-400 offers real-time monitoring of the chamber cleaning end point during the deposition process. By optimizing the cleaning process, the IR-400 reduces cleaning time and gas usage. This reduction in cleaning gas usage leads to a reduction in chamber damage and increases the life times of all the systems components. |
IR-400 giúp theo dõi điểm cuối, theo thời gian thực, của quá trình làm sạch buồng phản ứng khi lắng tụ.Qua đó có thể tối ưu quá trình làm sạch, dẫn đến rút ngắn thời gian và kéo giảm lượng tiêu thụ khí làm sạch, từ đó tăng cường tuổi tho của các linh phụ kiện và giảm nguy cơ hư hỏng buồng. |
| Benefits of real-time end-point monitoring with the IR-400 |
Lợi ích của việc sử dụng IR-400 để theo dõi điểm cuối theo thời gian thực là: |
| Reduce time for chamber cleans |
Rút ngắn thời gian làm sạch buồng |
| Reduce usage of cleaning gases |
Giảm lượng khí làm sạch phải dùng |
| Repeatable and predictable clean process |
Khiến cho quá trình làm sạch trở nên dễ kiểm soát và có độ lặp lại |
| Longer lifetime of chamber components |
Kéo dài tuổi thọ của các linh kiện buồng |
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.